半天都没有反应。

后来，指令长下达命令：“关机！”

马上有人关机了。

过了20分钟之后，指令长下达了命令：“试机！”

光刻机还是没有反应，没有运转。

一二十分钟之后，都是这个样子。

指令长只好下了命令：“关机！”

想不到第1次试机没有成功。

理查德，李斯特，何建勇都有点慌了。

问题究竟出在哪里呢？

只有先让光刻机自检一下。

好在设置了光刻机自检这个程序。

有关人员开始让光刻机开始自检了。

线路没有问题。

零件没什么问题。

最后，发现是操作系统有问题。

发现了问题这下就好办了。